油擴散(sàn)泵抽氣系統(tong)的*缺點是油(yóu)蒸汽的污染(ran)。
系統中污染(ran)物的主要來(lai)源如下：
(1)擴散(san)泵油蒸汽的(de)返流。這是最(zui)重大的污染(rǎn)源。
(2)系統中的(de)零部件，在裝(zhuang)配時用有油(yóu)的手拿。用有(yǒu)油污的手套(tào)拿，這樣粘染(ran)的有機分子(zi)可以造成系(xi)統内的污染(ran)。
(3)前級油封機(ji)械泵油的返(fǎn)流。這個問題(tí)也很嚴重，當(dāng)入口壓力較(jiào)高時，在達到(dao)過渡區(1～10-1Pa)壓力(li)時，機械泵的(de)油蒸汽即可(ke)直接進入擴(kuo)散泵内，對系(xì)統直接進行(háng)污染。很多真(zhēn)空工藝過程(chéng)的污染來自(zì)機械泵返油(yóu)。當停機械泵(bèng)時如不及時(shí)向泵内放大(dà)氣，機械泵油(yóu)可直接返到(dào)擴散泵油鍋(guo)内。當擴散泵(bèng)起動時對系(xì)統的污染更(geng)為嚴重。
(4)抽氣(qi)系統中密封(feng)材料的放氣(qì)造成的污染(ran)。特别是人造(zao)橡膠密封圈(quan)，密封油脂，潤(run)滑油等，也同(tóng)樣造成嚴重(zhòng)的污染。
(5)當停(tíng)泵後放大氣(qì)時，使真空零(líng)部件在空氣(qì)中粘污上水(shui)蒸汽，油煙等(deng)，造成對真空(kong)系統的污染(ran)。
消除系統油(yóu)蒸氣返流的(de)具體措施為(wei)：
(1)加大擴散泵(beng)的啟動功率(lü)來縮短機械(xie)泵與擴散泵(bèng)切換時的壓(yā)力過渡區。
(2)通(tōng)過改變系統(tong)操作工藝和(hé)用閥門來避(bi)開返流危險(xian)區（切換過渡(du)區）。例如，可使(shǐ)一個按照預(yu)定速度開啟(qi)的高真空閥(fa)，逐漸地開啟(qǐ)它，保證進入(ru)擴散泵的氣(qì)體流量低于(yú)它的*排氣量(liang)，并且又使機(jī)械泵抽速保(bao)證擴散泵前(qián)級壓力，以使(shi)擴散泵能樹(shu)立工作。這樣(yàng)就能避開過(guo)渡區的出現(xiàn)。
(3)改善操作工(gong)藝，将擴散泵(bèng)的加熱功率(lǜ)調至*功率，避(bi)免出現泵油(yóu)爆沸現象；一(yi)般擴散泵在(zài)加熱開始和(he)關閉過程中(zhong)，返流将出現(xiàn)峰值，所以可(kě)用泵口處的(de)高真空閥門(mén)來控制避免(mian)返流。
(4)在擴散(sàn)泵入口處加(jiā)裝液氫冷阱(jing)或吸附阱來(lái)捕集返流油(you)蒸氣。
(5)選用*的(de)擴散泵工作(zuò)液。